| 发明名称 | 包覆剂、利用该包覆剂形成包覆膜的耐等离子体性部件及具有该耐等离子体性部件的等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 形成包覆膜的包覆剂(51)由环化橡胶－双叠氮化物等主要成分和感光剂组成的抗蚀剂构成，通过将从处理室(22)内取出的处理室内部件(50)浸渍在丙酮等剥离液中，可在剥离附着的包覆膜的同时，从处理室内部件(50)上分离堆积在处理室内部件(50)上形成的包覆剂(51)的包覆膜上的堆积物(52)。 | ||
| 申请公布号 | CN1507652A | 申请公布日期 | 2004.06.23 |
| 申请号 | CN02809527.8 | 申请日期 | 2002.04.03 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 长山将之;三桥康至;中山博之 |
| 分类号 | H01L21/3065 | 主分类号 | H01L21/3065 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种包覆剂，用于在配置于等离子体处理装置的处理室内部的耐等离子体性部件上形成包覆膜，其特征在于：由溶解于有机溶剂中的抗蚀剂构成。 | ||
| 地址 | 日本国东京都港区赤坂五丁目3番6号 | ||