| 发明名称 |
Anti-reflective coating compositions for use with low k dielectric materials |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003294563(A8) |
申请公布日期 |
2004.06.23 |
| 申请号 |
AU20030294563 |
申请日期 |
2003.12.02 |
| 申请人 |
BREWER SCIENCE, INC. |
发明人 |
RAMA PULIGADDA;JAMES E. LAMB;TONY D. FLAIM |
| 分类号 |
H01L21/312;B05D3/02;B32B17/10;C08F20/26;C08F20/32;C08F220/28;C08G59/32;C08J7/04;C09D163/00;G03F7/09;G03F7/11;H01L;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):B05D3/02 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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