发明名称 具形成于网区选择性晶体管之积体半导体内存
摘要 一种积体半导体内存(10)被揭露,在每个实例中其选择性晶体管(3)系被形成于一网区(4)上,在每个实例中该网区系被设置在一绝缘层(11)上,该第一源极/漏极区域(5)则被设置在该网区的一侧向终端(A)的该绝缘层(11)上,且该第二源极/漏极区域(6)系被设置在该网区(4)的另一侧向终端(B)的该绝缘层(11)上,以及该网区(4)的两个纵向侧(14)与该网区(4)的一顶侧(15)系以一包含一闸极介电层(9)与一闸电极(16)的层次序而被覆盖。藉由此种设计,在该选择性晶体管(3)开着的状态下,可达到非常高的写-读电流,而在关掉的状态下则可降低漏电流的发生。
申请公布号 CN1507061A 申请公布日期 2004.06.23
申请号 CN200310120119.4 申请日期 2003.12.05
申请人 因芬尼昂技术股份公司 发明人 G·恩德斯;A·斯皮特泽
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 程天正;张志醒
主权项 1.一种具有记忆胞元(1)的积体半导体内存(10),该记忆胞元(1)具有一存储电容器(2)与一选择性晶体管(3),该选择性晶体管(3)系在一用半导体材料所制成的网区(4)上形成且具有一第一(5)与一第二源极/漏极区域(6)以及至少一闸极层(7,8),其中该网区(4)系被设置在一绝缘层(11)上,该第一源极/漏极区域(5)系被设置在该网区(4)的一侧向终端(A)的该绝缘层(11)上,且该第二源极/漏极区域(6)系被设置在该网区(4)的另一侧向终端(B)的该绝缘层(11)上,以及该网区(4)的两个纵向侧(14)与该网区(4)的一顶侧(15)系以一包含一闸极介电层(9)与一闸电极(16)的层次序而被覆盖。
地址 联邦德国慕尼黑