| 发明名称 |
WAFER SEPARATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002349422(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.23 |
| 申请号 |
AU20020349422 |
申请日期 |
2002.12.05 |
| 申请人 |
MIMASU SEMICONDUCTOR INDUSTORY CO., LTD. |
发明人 |
MASATO TSUCHIYA |
| 分类号 |
B65G49/06;B65H31/06;H01L21/00;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68;B65G49/07;B65H3/08;B65H3/48;B65G59/04 |
主分类号 |
B65G49/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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