| 发明名称 |
CIRCUIT PATTERN INSPECTION DEVICE AND CIRCUIT PATTERN INSPECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003302525(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.23 |
| 申请号 |
AU20030302525 |
申请日期 |
2003.11.28 |
| 申请人 |
OHT INC. |
发明人 |
SHUJI YAMAOKA;HIROSHI HAMORI;SHOGO ISHIOKA |
| 分类号 |
G01R31/02;G01R31/28;H05K3/00;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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