| 主权项 |
1.一种晶圆加热台,供装设于一晶圆处理腔室内,其包含:一金属本体,其具有一上表面、一下表面及复数个贯穿孔,其中该上表面系呈平坦状,用以承载一晶圆,该些贯穿孔系贯通该上表面与该下表面;一加热线圈;及一升降装置,包含有复数个托针,其系通过该些贯穿孔,用以托起晶圆;其特征在于,该金属本体系由金属粉末冶金(metalpowder metallurgy)形成,该金属本体之该下表面形成有凹陷之沟槽,该加热线圈系嵌设于该沟槽内。2.如申请专利范围第1项所述之晶圆加热台,其中该金属本体系选自铝合金6061.5052或1100。3.如申请专利范围第1项所述之晶圆加热台,其另包含有一边框,以结合该金属本体。4.如申请专利范围第1项所述之晶圆加热台,其另包含有一轴杆,以支持该金属本体。5.如申请专利范围第1项所述之晶圆加热台,其中该沟槽系呈平面涡形(spiral)延伸。图式简单说明:第1图:依照本创作之一具体实施例,一高导热性之晶圆加热台之截面示意图;第2图:依照本创作之一具体实施例,一高导热性之晶圆加热台之本体之下表面示意图;及第3图:依照本创作之另一具体实施例,一高导热性之晶圆加热台之截面示意图。 |
