基板收纳用卡匣

摘要

【发明摘要】本发明提供一种基板收纳用卡匣，其可缩小基板收纳间距，进而获致基板收纳用卡匣的小型化及轻量化。基板收纳用卡匣1系在具备形成有上凸部53以支承基板100的靠中心部位的基板座5，且利用机器人等搬送机构200来进行基板100的放入取出之基板收纳用卡匣1中，基板座5的形状系仿傚搬送机构200由下方支承基板100时所发生的基板100弯折形状而设计者。五、(一)、本案代表图为：第＿＿1＿＿＿图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：1…基板收纳用卡匣 2…底板3…支柱 4…上顶板5…基板座 100…基板

主权项

1.一种基板收纳用卡匣,系具备形成有上凸部以支承基板的靠中心部位的基板座,且利用机器人等搬送机构来进行基板的放入取出之基板收纳用卡匣,其特征为:上述基板座的形状系仿傚搬送机构由下方支承基板时所发生的基板弯折形状而设计者。图式简单说明:第1图系本发明实施型态之基板收纳用卡匣的斜视图。第2图系基板座的放大正视图。第3图系将基板由基板收纳用卡匣取出时的动作说明图。第4图系习知之一般基板收纳用卡匣的构造图。第5图系习知之其他基板收纳用卡匣的构造图。第6图系第5图之习知例的问题说明图。