| 主权项 |
1.一种基板匣,用以容纳复数个基板,该基板匣包含:一框架;复数排支撑架设于该框架中,用以支撑该些基板,其中每排支撑架包含复数个彼此平行之长条件以及复数个套件各自套在该些长条件其中之一,该些套件系可相对于该长条件转动。2.如申请专利第1项所述之基板匣,其中该长条件系为圆柱形。3.如申请专利第1项所述之基板匣,其中该长条件系为钢线。4.如申请专利第1项所述之基板匣,其中该套件系为一圆筒件,且该圆筒件中空部份的直径系大于该长条件之最大直径。5.如申请专利第4项所述之基板匣,其中该套件系为一表面具有复数个凸起的圆筒件。6.如申请专利第1项所述之基板匣,其中该套件系为一滚轮(roller),并且在同一长条件上设有复数个彼此隔开的滚轮。7.一种基板搬运方法,用于将一基板从一基板匣中取出并输送至一制程设备中,其中该基板匣包含一框架以及复数排用以支撑该些基板之支撑架设于该框架中,每排支撑架包含复数个彼此平行之长条件以及复数个套件各自套在该些长条件其中之一,该些套件系可相对于该长条件转动,该方法包含以下步骤:利用一机器手臂将该基板匣中的一基板拉出,使该基板有部份位于一紧邻于该基板匣之输送带上,其中在该基板拉出时,该些套件系可相对于该长条件转动,使得该支撑架上之基板可轻易地相对于该基板匣移动;以及利用该输送带将该基板之其他部分从该基板匣中拖出并且输送至该制程设备中。8.如申请专利第7项所述之基板搬运方法,其中该长条件系为圆柱形。9.如申请专利第7项所述之基板搬运方法,其中该长条件系为钢线。10.如申请专利第7项所述之基板搬运方法,其中该套件系为一圆筒件,且该圆筒件中空部份的直径系大于该长条件之最大直径。11.如申请专利第7项所述之基板搬运方法,其中该套件系为一表面具有复数个凸起的圆筒件。12.如申请专利第7项所述之基板搬运方法,其中该套件系为一滚轮(roller),并且在同一长条件上设有复数个彼此隔开的滚轮。图式简单说明:第1a及1b图系为先前技术中之一随机式基板匣之立体及剖面示意图。第2a及2b图系为先前技术中之一序列式基板匣之立体及剖面示意图。第3图系为一示意图,显示先前技术中之一随机式基板匣之基板之搬运作业。第4图系为一示意图,显示先前技术中之一序列式基板匣之基板之搬运作业。第5图系为根据本发明之一基板匣之部分剖面示意图。第6图系为从第5图之箭头方向所见之基板匣局部剖面示意图,其图示具有平滑表面之套件。第7A图系为从第5图之箭头方向所见之基板匣局部剖面示意图,其图示具有具有突起之套件。第7B图系为第7A图所示之长条件以及具有突起之套件的示意图。第8图系为根据本发明之另一基板匣之部分剖面示意图。第9图系为一示意图,显示本发明中基板匣之基板搬运作业。 |
