| 主权项 |
1.一种由铬蚀刻液回收铈之方法,即以铈化合物为主要成分之蚀刻液进行铬蚀刻后由含铈化合物与铬化合物之蚀刻液回收铈之方法,其特征为具备下列步骤:(a)蒸发浓缩含铈化合物与铬化合物之酸性铬蚀刻液使铈化合物析出之蒸发结晶化步骤、(b)分离析出之铈化合物之步骤、及(c)利用分离之铈化合物调制使用于铬蚀刻之组成之蚀刻液之步骤;而且其中于上述步骤(a)之蒸发结晶化步骤析出之铈化合物为硝酸铈铵。2.一种由铬蚀刻液回收铈之方法,即以铈化合物为主要成分之蚀刻液进行铬蚀刻后由含铈化合物与铬化合物之蚀刻液回收铈之方法,其特征为具备下列步骤:(a)蒸发浓缩含铈化合物与铬化合物之酸性铬蚀刻液使铈化合物析出之蒸发结晶化步骤、(b)分离析出之铈化合物之步骤、及(c1)用草酸盐分离、回收上述步骤(b)分离铈化合物后之分离液中(残存)之铜之步骤;而且其中于步骤(c1)分离铈化合物后之分离液中之铈以草酸盐分离、回收之步骤具备下列步骤:(a2)添加草酸于上述分离液中,使分离液中之铈还原为3价铈而以草酸盐析出之步骤、(b2)添加硷于析出3价铈之草酸盐之溶液中使中和至实质上不析出3价铬之氢氧化物之程度。再使3价铈以草酸盐 析出之步骤、及(c2)分离于(a2)、(b2)步骤析出之以3价铈之草酸盐为主成分之析出物之步骤。3.如申请专利范围第2项之由铬蚀刻液回收铈之方法,其中于步骤(c1)具备添加氢氧化硷(金属)于分离、回收草酸盐后之含3价铬溶液中,使3价铬以氢氧化铬析出、分离之步骤。4.如申请专利范围第2项之由铬蚀刻液回收铈之方法,其中于步骤(b2)加硷中和时加硷至pH为约4为止。5.如申请专利范围第2项或第4项之由铬蚀刻液回收铈之方法,其中具备下列步骤:对于步骤(c2)分离、回收之以3价铈之草酸盐为主要成分之析出物以氢氧化硷(金属)作用使生成氢氧化亚铈之步骤;对该生成之氢氧化亚铈以氧化剂作用使生成氢氧化铈之步骤;及对该氢氧化铈以硝酸及硝酸铵作用并加热浓缩使生成硝酸铈铵之步骤。图式简单说明:第1图与本发明之实施形态相关之由铬蚀刻液回收铈之方法中蒸发浓缩、结晶化步骤之流程图。第2图与本发明之实施形态相关之由铬蚀刻液回收铈之方法中以草酸盐回收铈步骤之流程图。 |
