发明名称 液晶显示器及其制作方法
摘要 一种液晶显示器,至少包含一层间介电层,系形成于一玻璃底材上,用以覆盖玻璃底材上表面之一元件;一第一接触开口,系位于层间介电层中;一内连线层,系形成于层间介电层上表面,并填满第一接触开口,以与元件产生电性连结;一防护层,系形成于内连线层上表面,并覆盖于元件上方;一第二接触开口,系形成于防护层中,以曝露出内连线层之部份上表面;一平坦层,系用以完全遮覆防护层,而裸露出第二接触开口之部分底面;一画素电极层,系透过第二接触开口之部分底面,而与内连线层产生电性连接。五、(一)、本案代表图为:第 十三
申请公布号 TW594319 申请公布日期 2004.06.21
申请号 TW092108435 申请日期 2003.04.11
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 陈坤宏;叶光兆
分类号 G02F1/1345 主分类号 G02F1/1345
代理机构 代理人 李长铭 台北市中山区南京东路二段五十三号九楼;翁仁滉 台北市中山区南京东路二段五十三号九楼
主权项 1.一种液晶显示器,包含:一层间介电层,系形成于一玻璃底材上,用以覆盖该玻璃底材上表面之一元件;一第一接触开口,系位于该层间介电层中;一内连线层,系形成于该层间介电层上表面,并填满该第一接触开口,以与该元件产生电性连结;一防护层,系形成于该内连线层上表面,并覆盖于该元件上方;一第二接触开口,系形成于该防护层中,以曝露出该内连线层之部份上表面;一平坦层,系用以完全遮覆该防护层,而裸露出该第二接触开口之部分底面;以及一画素电极层,系透过该第二接触开口之部分底面,而与该内连线层电性连接。2.如申请专利范围第1项之液晶显示器,其中该元件为电晶体。3.如申请专利范围第1项之液晶显示器,其中该防护层之材料系选自氮化矽、氧化矽或其任意组合。4.如申请专利范围第1项之液晶显示器,其中该平坦层之材料系为感光材料。5.如申请专利范围第1项之液晶显示器,其中该内连线层之材料系选自铝、钛或其任意组合。6.一种液晶显示器,包含:一层间介电层,系形成于一玻璃底材上,用以覆盖该玻璃底材上表面之一电晶体;一第一接触开口,系位于该层间介电层中;一内连线层,系形成于该层间介电层上表面,并填充该第一接触开口,以与该电晶体产生电性连结;一防护层,系形成于该内连线层上表面,并覆盖于该电晶体上方;一第二接触开口,系形成于该防护层中,以曝露出该内连线层之部分上表面;一平坦层,系用以完全遮覆该防护层,而裸露出该第二接触开口之部份底面;以及一画素电极层,系透过该第二接触开口之部分底面,而与该内连线层电性连接。7.如申请专利范围第6项之液晶显示器,其中该防护层之材料系选自氮化矽、氧化矽或其任意组合。8.如申请专利范围第6项之液晶显示器,其中该平坦层之材料系为感光材料。9.如申请专利范围第6项之液晶显示器,其中该内连线层之材料系选自铝、钛或其任意组合。10.一种制作液晶显示器之方法,该方法包括下列步骤:形成一层间介电层于一玻璃底材上,以覆盖该玻璃底材上表面之一元件;形成一第一接触开口于该层间介电层中,以曝露出该元件之部分上表面;形成一内连线层于该第一接触开口中,用以与该元件产生电性连结;形成一防护层于该内连线层上表面,并覆盖于该元件上方;进行微影蚀刻程序,以形成一第二接触开口于该防护层中,并裸露出该内连线层之部分上表面;形成一平坦层于该防护层上表面,并填满该第二接触开口;进行移除程序,以形成一第三接触开口于该平坦层中,并裸露出该内连线层之部分上表面,其中该第三接触开口位于该第二接触开口内,且该第二接触开口之侧壁系被该平坦层完全遮覆;以及形成一画素电极层于该平坦层上表面,并贴附该第三接触开口之表面。11.如申请专利范围第10项之方法,其中该元件为电晶体。12.如申请专利范围第10项之方法,其中该防护层之材料系选自氮化矽、氧化矽或其任意组合。13.如申请专利范围第10项之方法,其中该平坦层之材料系为感光材料。14.如申请专利范围第10项之方法,其中该内连线层之材料系选自铝、钛或其任意组合。15.如申请专利范围第10项之方法,其中该移除程序为显影程序、蚀刻程序或其组合。16.一种制作液晶显示器之方法,该方法包括下列步骤:形成一层间介电层于一玻璃底材上,以覆盖该玻璃底材上表面之一电晶体;形成一第一接触开口于该层间介电层中,以曝露出该电晶体之部分上表面;形成一内连线层于该第一接触开口中,用以与该电晶体产生电性连结;形成一防护层于该内连线层上表面,并覆盖于该电晶体上方;进行微影蚀刻程序,以形成一第二接触开口于该防护层中,并裸露出该内连线层之部分上表面;形成一平坦层于该防护层上表面,并填满该第二接触开口;进行移除程序,以形成一第三接触开口于该平坦层中,并裸露出该内连线层之部分上表面,其中该第三接触开口位于该第二接触开口内,且该第二接触开口之侧壁系被该平坦层完全遮覆;以及形成一画素电极层于该平坦层上表面,并贴附该第三接触开口之表面。17.如申请专利范围第16项之方法,其中该防护层之材料系选自氮化矽、氧化矽或其任意组合。18.如申请专利范围第16项之方法,其中该平坦层之材料系为感光材料。19.如申请专利范围第16项之方法,其中该内连线层之材料系选自铝、钛或其任意组合。20.如申请专利范围第16项之方法,其中该移除程序为显影程序、蚀刻程序或其组合。图式简单说明:第一图为习知技艺液晶显示器结构之截面图;第二图为习知技艺液晶显示器结构之部分放大截面图;第三图为习知技艺液晶显示器结构之截面图;第四图为习知技艺液晶显示器结构之截面图,显示形成电晶体于玻璃底材上表面;第五图显示制作习知技艺液晶显示器结构之步骤;第六图显示制作习知技艺液晶显示器结构之步骤;第七图为习知技艺液晶显示器结构之部分放大截面图,显示画素电极层系贴附于第二接触开口与第三接触开口之表面;第八图为本发明液晶显示器结构之截面图;第九图为本发明液晶显示器结构之部分放大截面图;第十图为本发明液晶显示器结构之截面图;第十一图为本发明液晶显示器结构之截面图,显示形成电晶体于玻璃底材上表面;第十二图显示制作本发明液晶显示器结构之步骤;第十三图显示制作本发明液晶显示器结构之步骤;以及第十四图为本发明液晶显示器结构之部分放大截面图,显示画素电极层系贴附于第三接触开口之表面。
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