| 主权项 |
1.一种电浆处理装置,其主要是针对一具有高周波电源侧电极与接地侧电极,而根据从高周波电源所供给之高周波的电力在上述2个电极之间产生放电,根据由此所产生的电浆来处理被搭载在上述接地侧电极上之基板的电浆处理装置,其特征在于:将从上述接地侧电极到接地电位部为止之连接部的表面以高周波传播媒体来覆盖,更者在上述高周波传播媒体的表面留下高周波导入部,而全部以导体来覆盖。2.如申请专利范围第1项之电浆处理装置,其中上述高周波传播媒体包含上述接地侧电极的背面在内覆盖上述连接部的整个表面。3.如申请专利范围第1项之电浆处理装置,其中上述高周波传播媒体包含上述接地侧电极的侧面以及背面在内覆盖上述连接部的整个表面。4.如申请专利范围第1项至第3项之任一项之电浆处理装置,其中上述高周波传播媒体为绝缘体,低压力下的气体,上述绝缘体与上述低压力下之气体之复合体的其中任一者。5.如申请专利范围第4项之电浆处理装置,其中上述绝缘体为氧化铝。图式简单说明:图1系表本发明之电浆处理装置之第1实施例之主要部分的纵断面图。图2系表本发明之电浆处理装置之原理的说明图。图3系表图1所示之电浆处理装置之电磁场分布的模拟的说明图。图4系表第1实施例之电浆处理装置之具体例的主要部分纵断面图。图5系表本发明之电浆处理装置之第2实施例的主要部分纵断面图。 |
