铈系研磨材料及其制造方法

摘要

本发明目的为提供一种粉末状之铈系研磨材料，其可单由与水等分散剂的混合，调制成可长时间维持研磨材料粒子分散性之铈系研磨材料研磨液，且其用毕后之所需之后处理程序也相当简便。由此，本发明提供一种铈系研磨材料，其包含有含氯化合物，其中氯(元素)的总质量相当于铈系研磨材料中稀土元素(rare-earthelement)氧化物质量之0.05%~5.0%之间。研磨液中含有上述固态成分之研磨材料者，其研磨材料粒子具有优异之分散维持性。因此，可持续供给具有稳定固态成分浓度之研磨液，且不需分散剂来维持其分散状态，研磨材料使用完毕，也不需分散剂的分离程序，因而可简化用毕研磨材料之后处理程序。伍、(一)、本案代表图为：无(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：无

主权项

1.一种铈系研磨材料,其包含有含氯化合物,其中该氯(元素)的总质量相当于铈系研磨材料中稀土元素(rare-earth element)氧化物质量之0.05%~5.0%之间。2.如申请专利范围第1项所述之铈系研磨材料,其中该稀土元素氧化物中含有氧化铈以及氧化镧,其中氧化铈所占之质量百分比为40.0%~99.5%之间,氧化镧所占之质量百分比为0.5%~60.0%之间。3.如申请专利范围第1或第2项所述之铈系研磨材料,其中氯(元素)与镧(元素)之莫尔比(Cl/La)系介于0.02~1.0之间。4.一种铈系研磨材料之制作方法,其特征为:包含有一对铈系研磨材料之原料进行焙烧之步骤,且该焙烧步骤系在上述原料与含氯物接触的状态下进行。5.如申请专利范围第4项所述之铈系研磨材料之制作方法,其中该焙烧步骤,系对含有含氯物之原料进行焙烧。6.如申请专利范围第5项所述之铈系研磨材料之制作方法,其中该含有含氯物之原料系利用铈系研磨材料之原料与含有含氯物之溶液进行湿式混合后所得。7.如申请专利范围第5或6项所述之铈系研磨材料之制作方法,其中该含有含氯物之原料中,氯(元素)的总质量相当于稀土元素氧化物质量之0.1%~8.0%之间。8.如申请专利范围第4项所述之铈系研磨材料之制作方法,其中该焙烧步骤,系在含有含氯气体之气氛中进行。9.如申请专利范围第8项所述之铈系研磨材料之制作方法,其中该焙烧气氛中含氯气体的浓度,为介于0.01/n体积百分比~20/n体积百分比之间,其中n代表构成该含氯气体之一分子中氯原子之个数。