发明名称 垂直式薄板蚀刻机之输送装置
摘要 一种垂直式薄板蚀刻机之输送装置,主要由一底板、一传动轴,及直线等距排列于底板上竖立之数传送单元组所构成,其中传动轴贯穿数传送单元组架接底板另端,且传动轴一端连接动力源,并于卡接各传送单元组处,形成蜗轮,而该些传送单元组皆为一对分设于蜗轮两侧,自底板往上穿轴串叠一软性输送夹轮、数支撑轮、一带动齿轮之支撑轮架,每对支撑轮架之两带动齿轮恒与对应的蜗轮相啮合,且每对支撑轮架各叠层高度之两支撑轮面相距缝隙,稍比洗蚀之电路板厚度宽,而底板对应承受电路板部份,为耐蚀性高硬度材质的直轨,由此构成,向该些传送单元组周围喷洒蚀刻药水,转动传动轴,即可带转各软性输送夹轮辗送电路板进行竖横立移冲洗蚀刻,蚀刻药水易自电路板滴除,改进见电路蚀刻机输送装置,以水平传送电路板洗蚀,板面易集聚蚀刻药水水池效应影响蚀刻精度,无法蚀刻薄板体、蚀刻加工速度慢之缺失者。伍、(一)、本案代表图为:第一图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:〔各图示元件编号与名称对照〕10....底板 30,40,50....传送单元组11....平板 31....轴12....轨条 32....软性输送夹轮20....传动轴 34A,34B....支撑轮21....电马达 36,37....蜗齿轮22,23,24....蜗轮 60....电路板
申请公布号 TW595807 申请公布日期 2004.06.21
申请号 TW092206484 申请日期 2003.04.24
申请人 郭明宏 发明人 郭明宏
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项 1.一种垂直式薄板蚀刻机之输送装置,其特征在于:主要由一底板、一传动轴,及直线等距排列于底板上竖立之数传送单元组所构成,其中传动轴贯穿数传送单元组架接底板另端,且传动轴一端连接动力源,并于卡接各传送单元处,形成蜗轮,而该些传送单元组皆为一对分设于蜗轮两侧,自底板往上穿轴串叠一软性输送夹轮、数支撑轮、一带动齿轮之支撑轮架,每对支撑轮架之两带动齿轮恒与对应的蜗轮相啮合,且每对支撑轮架各叠层高度之两支撑轮面相距缝隙,为洗蚀之电路板厚度,而底板对应承受电路板部份,为耐蚀性高硬度材质者。2.如申请专利范围第1项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述之支撑轮及软性输送夹轮,皆沿着轮心中线一体垂伸出轴管,且轴管中央开设供轴贯穿紧插之轴孔,复于支撑轮之轴管两端管口,形成如冠冕状之卡接槽,任两相叠之支撑轮,即藉由两两互叠轴管之卡接槽互卡啮合,使传动效果上,产生所有轮件整体同步旋动作用者。3.如申请专利范围第1项或第2项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述底板对应承受电路板部份之材质结构,系使该底板由一平板及一轨条所构成,于平板上,沿电路板推送轨迹固着该轨条,该轨条为耐蚀性高硬度之条体者。4.如申请专利范围第3项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述该轨条为玻璃条体者。5.如申请专利范围第3项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述该轨条为耐酸硷塑胶条体者。6.如申请专利范围第3项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述底板系以单一物块一体形成平板及轨条者。7.如申请专利范围第3项之垂直式薄板蚀刻机之输送装置,所述底板往上穿轴的结构,系于平板板面对应穿设各轴之轴端,一一凸设轴孔座,于各轴孔座内,嵌设穿套轴端之轴承,使各轴轴端套定于平板面者。图式简单说明:第一图为本创作垂直式薄板蚀刻机之输送装置立体图示。第二图为本创作垂直式薄板蚀刻机之输送装置立体分解图。第三图为本创作垂直式薄板蚀刻机之输送装置传动电路板示意图。第四图为本创作垂直式薄板蚀刻机之输送装置洗蚀电路板之侧视图。
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