发明名称 具保护电路之电源供应器
摘要 一种电源供应器,包括接收来自一个DC输入源(11)的DC输入信号之一变流器。该变流器系由两个半部桥接器(S1A、S2A和S1B、S2B)组成。各变流器由输出一个AC信号的信号源(13A、13B)来驱动。来自各变流器的输出被输入到一第一阶段谐波滤波器。该电源供应器包括含有围绕一点配置的第一和第二整流器(D1、D2)之一输出电路,使得若变流器尝试把该点驱动得超过一预定第一和第二电压,个别整流器即导通来把电源和电流之至少一个送回到 DC输入源。来自第一谐波滤波器(L1A、C1;L1B、C1)的输出被输出到一第二谐波滤波器(L2、C2),且然后自电源供应器输出。
申请公布号 TW595061 申请公布日期 2004.06.21
申请号 TW090111324 申请日期 2001.05.11
申请人 ENI科技股份有限公司 发明人 保罗G 班耐特
分类号 H02H5/04 主分类号 H02H5/04
代理机构 代理人 恽轶群 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北市松山区南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一半桥式变流器,用来接收DC输入电压上用来产生一交流(AC)输出信号;一第一谐波滤波器,设于该变流器之输出处,该第一谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该第一谐波滤波器之输出处用来接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的第一和第二整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则该等第一和第二整流器之一个别者导通,来使电压和电流之至少一个返回至该DC电压源。2.依据申请专利范围第1项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括串联的一电感器和一电容器,且该第一谐波滤波器系与该半桥式变流器的开关中之一个并联来设置。3.依据申请专利范围第1项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该半桥式变流器的开关中之一输出及该等第一和第二整流器间的一互相连接点间,且该电容器更包含各与该个别第一和第二整流器并联的一对电容器之一经组合电容。4.依据申请专利范围第1项之电源供应器电路,其中该等第一和第二整流器各更包含串联的一对二极体,且该第一谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该等开关中之一输出及该等第一和第二个二极体间的一且相连接点间,且该电容器更包含多个电容器的一经组合电容,其中各电容器对应于各与一对应、个别二极体并联的各对二极体中之一个。5.依据申请专利范围第1项之电源供应器电路,其更包含:一对电容器,串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间;该变流器包含串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间的一对开关;及一电感器,设置于该等电容器之一互相接点和该等开关之一互相接点间。6.依据申请专利范围第5项之电源供应器电路,其更包含一对二极体,各二极体系与一个别电容器并联。7.依据申请专利范围第5项之电源供应器电路,其中该等开关各更包含串联的一对开关,且更包含与各开关并联的一电容器。8.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一全桥式变流器,用来接收DC输入电压止用来产生一交流(AC)输出信号,该全桥式变流器包含一对之桥式半部;一第一谐波滤波器,设于各个别桥式半部之输出处,该第一谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该第一谐波滤波器之经组合输出处,该输出电路接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的第一和第二整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则该等第一和第二整流器之一个别者导通,来使电压和电流之至少一个返回至该DC电压源。9.依据申请专利范围第8项之电源供应器电路,其更包含于该等第一谐波滤波器之该经组合输出处的一第二谐波滤波器,该第二谐波滤波器从该经过滤AC信号去除谐波分量来产生一输出信号。10.依据申请专利范围第9项之电源供应器电路,其更包含于在第二谐波滤波器之输出处的一阻挡电容器,用来从该第二谐波滤波器之该输出去除DC分量。11.依据申请专利范围第9项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括串联的一电感器和一电容器,且该第一谐波滤波器系与该半桥式变流器的开关中之一个并联来设置。12.依据申请专利范围第10项之电源供应器电路,其中该第二谐波滤波器包括串联的一电感器和一电容器,且该第二谐波滤波器系与该半桥式变流器的开关中之一个并联来设置。13.依据申请专利范围第9项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该等开关中之一输出及该等第一和第二整流器间的一互相连接点间,且该电容器更包含各与该个别第一和第二整流器并联的一对电容器之一经组合电容。14.依据申请专利范围第13项之电源供应器电路,其中该第二谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该等开关中之一输出及该等第一和第二整流器间的一互相连接点间,且该电容器更包含各与该个别第一和第二整流器并联的一对电容器之一经组合电容。15.依据申请专利范围第9项之电源供应器电路,其更包含:一对电容器,串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间;该变流器包含串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间的一对开关;及一电感器,设置于该等电容器之一互相接点和该等开关之一互相接点间。16.依据申请专利范围第15项之电源供应器电路,其更包含一对二极体,各二极体系与一个别电容器并联。17.依据申请专利范围第8项之电源供应器电路,其更包含产生供至各半部变流器之切换信号的一信号产生器。18.依据申请专利范围第17项之电源供应器电路,其中该信号产生器改变该等第一和第二桥式半部间的相对相位操作。19.依据申请专利范围第8项之电源供应器电路,其中该等电压和电流之至少一个被馈回到该变流器中。20.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一对单端点变流器,用来接收DC输入电压上用来产生一交流(AC)输出信号,该等单端点变流器以一全桥式组态来形成;一第一谐波滤波器,设于各个别半桥式之输出处,该第一谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该第一谐波滤波器之输出处,该输出电路接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的第一和第二整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则该等第一和第二整流器之一个别者导通,来使电压和电流之至少一个返回至该DC电压源。21.依据申请专利范围第20项之电源供应器电路,其中各单端点变流器包含:一开关,连接至该DC电压源之一第一轨道;一储槽电路,连接于该DC电压源之该第一和一第二电压轨道间,其中操作该开关来激励该储槽电路。22.依据申请专利范围第21项之电源供应器电路,其中该储槽电路更包含:一电感器,连接于该开关和该DC电压源之该第二轨道间:及一电容器,与该开关并联设置。23.依据申请专利范围第21项之电源供应器电路,其更包含在该开关和该第一谐波滤波器间的一阻挡电容器。24.依据申请专利范围第20项之电源供应器电路,其更包含于该等第一谐波滤波器之该经组合输出处的一第二谐波滤波器,该第二谐波滤波器从该经过滤AC信号去除谐波分量来产生一输出信号。25.依据申请专利范围第24项之电源供应器电路,其更包含于在第二谐波滤波器之输出处的一阻挡电容器,用来从该第二谐波滤波器之该输出去除DC分量。26.依据申请专利范围第25项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括串联的一电感器和一电容器,且该第一谐波滤波器系与该半桥式变流器的开关中之一个并联来设置。27.依据申请专利范围第26项之电源供应器电路,其中该第二谐波滤波器包括串联的一电感器和一电容器,且该第二谐波滤波器系与该半桥式变流器的开关中之一个并联来设置。28.依据申请专利范围第25项之电源供应器电路,其中该第一谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该等开关中之一输出及该等第一和第二整流器间的一互相连接点间,且该电容器更包含各与该个别第一和第二整流器并联的一对电容器之一经组合电容。29.依据申请专利范围第28项之电源供应器电路,其中该第二谐波滤波器包括一电感器和一电容器,且该电感器被设置于该等开关中之一输出及该等第一和第二整流器间的一互相连接点间,且该电容器更包含各与该个别第一和第二整流器并联的一对电容器之一经组合电容。30.依据申请专利范围第20项之电源供应器电路,其更包含:一对电容器,串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间;该变流器包含串联设置于该DC电压源之个别电压轨道间的一对开关;及一电感器,设置于该等电容器之一互相接点和该等开关之一互相接点间。31.依据申请专利范围第29项之电源供应器电路,其更包含一对二极体,各二极体系与一个别电容器并联。32.依据申请专利范围第21项之电源供应器电路,其更包含产生供至各半部变流器之切换信号的一信号产生器。33.依据申请专利范围第32项之电源供应器电路,其中该信号产生器改变该等第一和第二桥式半部问的相对相位操作。34.依据申请专利范围第21项之电源供应器电路,其中该该电压及/电流被馈回到该变流器中。35.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一第一多个单端点变流器,串联配置于该DC电压源之第一和第二轨道间,该第一多个单端点变流器形成一桥式组态之一第一半部,该桥式之该第一半部具有一第一组合输出;一第二多个单端点变流器,串联配置于该DC电压源之第一和第二轨道间,该第二多个单端点变流器形成一桥式组态之一第二半部,该桥式之该第二半部具有一第二组合输出;一第一谐波滤波器,设于各个别桥式半部之输出处,该第一谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤Ac信号;及一输出电路,设于该第一谐波滤波器之输出处,该输出电路接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的第一和第二整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则该等第一和第二整流器之一个别者导通,来使电压和电流之至少一个返回至该DC电压源。36.依据申请专利范围第35项之电源供应器电路,其中至少一单端点变流器包含:一开关,连接至该DC电压源之一第一局部电压轨道;一储槽电路,连接于该DC电压源之一第二局部电压轨道和该开关间,其中该开关激励该储槽电路。37.依据申请专利范围第36项之电源供应器电路,其中该储槽电路更包含:一电感器,连接于该开关和该DC电压源之该第二局部电压轨道间:及一电容器,与该开关并联设置。38.依据申请专利范围第36项之电源供应器电路,其中针对一第一桥式半部的该局部电压轨道具有针对一第二桥式半部的一对应局部电压轨道,其中针对该第一桥式半部的该局部电压轨道和该第二桥式半部的该对应局部电压轨道系互相连接。39.依据申请专利范围第36项之电源供应器电路,其更包含在各开关和该第一谐波滤波器间的一阻挡电容器。40.依据申请专利范围第36项之电源供应器电路,其更包含于该等第一谐波滤波器之该经组合输出处的一第二谐波滤波器,该第二谐波滤波器从该经过滤AC信号去除谐波分量来产生一输出信号。41.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一全桥式变流器,用来接收DC输入电压止用来产生一交流(AC)输出信号,该全桥式变流器包含一对之桥式半部;一谐波滤波器,设于该变流器之输出处,该谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该谐波滤波器之输出处用来接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的至少一整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则至少一整流器导通,来使电压和电流之至少一个来发散,其中该等预定第一和第二电压系与该DC电压源之个别正和负轨道的电压不同。42.依据申请专利范围第41项之电源供应器电路,其中该至少一整流器系一齐纳二极体。43.依据申请专利范围第41项之电源供应器电路,其中该该至少一整流器包含背对背配置的一对齐纳二极体,且各齐纳二极体之崩溃电压决定该等预定第一和第二电压。44.依据申请专利范围第42项之电源供应器电路,其更包含于该第一谐波滤波器之该输出处的一第二谐波滤波器,该第二谐波滤波器从该经过滤AC信号去除谐波分量来产生一输出信号。45.依据申请专利范围第43项之电源供应器电路,其中该至少一齐纳二极体被插置于一共同参考电压和该第一谐波滤波器之输出间。46.依据申请专利范围第42项之电源供应器电路,其中该至少一整流器致动一开关来使该开关能导通电流且发散功率。47.依据申请专利范围第42项之电源供应器电路,其中该至少一整流器与一个二极体桥式之两半部互相连接。48.一种控制系统,系供一电源发生器使用,该系统包含:一电路,用来接收一个AC信号且把该AC信号转换至一个DC电压信号;一功率放大器,包括:一全桥式变流器,用来接收该DC电压信号上用来产生一个AC输出信号,该全桥式变流器具有第一和第二半部,及一输出电路,用来接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的第一和第二整流器,使得若该变流器尝试把该点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则该等第一和第二整流器之一个别者即导通,来使电压和电流之至少一个返回至该变流器;以及一输出感测电路,用来决定该输出信号之功率,该输出感测电路产生一感测信号;及一相位调变器,用来改变该全桥式变流器之相对相位,以依据该感测信号来改变输出功率。49.依据申请专利范围第48项之系统,其中该功率放大器包含多个并联配置的多个功率放大器,且该系统更包含用来把各个该等多个变流器之该输出信号组合的一组合器。50.一种电浆控制系统,包含:一电浆腔室,由一射频(RF)信号来激发;一电浆控制器,用来测量该电浆腔室之操作情况且产生用来改变该电浆腔室内的情况之控制信号;及一个RF产生器,用来产生供至该电浆腔室的一个RF信号,该RF产生器包括:一个RF控制器,用来接收来自该电浆控制器的该控制信号且产生一电源供应器控制信号,及一电源供应器,用来接收该电源供应器控制信号且依据该电源供应器控制信号来产生一个RF信号,其中该电源供应器包括含有相对于该一预定点而连接的第一和第二整流器之一保护电路,使得若该电源供应器尝试把该预定点驱动至超过一预定第一和第二电压之一个的一电压,则第一和第二整流器之一个别者即导通。51.依据申请专利范围第50项之系统,其中该电源供应器更包含:一直流(DC)电压源;一半桥式变流器,用来接收DC输入电压且用来产生一交流(AC)输出信号;一谐波滤波器,设于该变流器之输出处,该谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该谐波滤波器之输出处用来接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的该等第一和第二整流器。52.依据申请专利范围第50项之系统,其中该电源供应器更包含:一直流(DC)电压源;一全桥式变流器,用来接收DC输入电压上用来产生一交流(AC)输出信号,该全桥式变流器包含一对之桥式半部;一第一谐波滤波器,设于各个别桥式半部之输出处,该第一谐波滤波器滤掉该AC信号之预定谐波分量来产生一经过滤AC信号;及一输出电路,设于该第一谐波滤波器之输出处,该输出电路接收该经过滤AC信号且把该经过滤AC信号馈至一负载,其中该输出电路包括相对于该输出电路中之一点而连接的该等第一和第二整流器。53.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一变流器,用来接收DC输入电压上用来产生供输入到一负载的一交流(AC)输出信号;一输出电路,设于该变流器之输出处;及一返回电路,连接于该输出电路中之一点使得若该点处的电压超过一预定第一和第二电压之一个,则该返回电路导通,来使电压和电流之至少一个返回至该DC电压源。54.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该输出电路更包含一谐波滤波器。55.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该输出电路更包含包括一电感器和一电容器的一谐波滤波器。56.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该返回电路包含第一和第二整流器。57.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该变流器包含一个半桥式变流器。58.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该变流器包含具有两半部的一全桥式变流器,且该等半部系与该负载以串联和并联之一来设置。59.依据申请专利范围第53项之电源供应器电路,其中该返回电路把电压和电流之至少一个送回该变流器。60.一种电源供应器电路,用来把交流电源供应至一负载,该电源供应器电路包含:一直流(DC)电压源;一变流器,用来接收DC输入电压上用来产生供输出到一负载的一交流(AC)输出信号;一输出电路,设于该变流器之输出处;及一发散电路,连接于该输出电路中之一点使得若该点处的电压超过一预定第一和第二电压之一个,则该发散电路导通,来使电压和电流之至少一个可发散。61.依据申请专利范围第60项之电源供应器电路,其中该发散电路包含至少一齐纳二极体。62.依据申请专利范围第60项之电源供应器电路,其中该发散电路包含背对背配置的一对齐纳二极体,且各齐纳二极体之崩溃电压决定该等预定第一和第二电压。63.一种电浆控制系统,包含:一由一射频(RF)信号激发之电浆腔室;一用以测量该电浆腔室之操作情况并产生用以改变该电浆腔室内之情况的控制信号的电浆控制器;以及一用以产生供至该电浆腔室之一RF信号之RF产生器,该RF产生器包括:一RF控制器,该RF控制器可接收来自该电浆控制器之该控制信号并可产生一电源供应器控制信号,以及一用以接收该电源供应器控制信号并依据该电源供应器控制信号产生一RF信号之电源供应器,该电源供应器更包括:一直流(DC)电压源;一用以接收该DC输入电压并用以产生一交流(AC)输出信号之半桥式变流器;一设于该变流器之输出处之第一谐波滤波器,该第一谐波滤波器可过滤该AC信号之预定谐波分量以产生一滤波AC信号;以及一设于该第一谐波滤波器之输出处之用以接收该滤波AC信号并将该滤波AC信号馈送至一负载之输出电路,其中,该输出电路包括相对于该输出电路中之一点连接之第一以及第二整流器,使得若该变流器试图将该点驱动至一超过一预定第一以及第二电压中之一者之电压,该等第一以及第二整流器中之个别一者将导通为可令电压以及电流中之至少一者返回至该DC电压源。64.依据申请专利范围第63项之电浆控制系统,其中,该第一谐波滤波器包括串联连接之一电感器以及一电容器,且该第一谐波滤波器系与该半桥式变流器之该等开关中之一者并联连接设置。65.依据申请专利范围第63项之电浆控制系统,其中,该第一谐波滤波器包括一电感器以及一电容器,且该电感器系设置于该半桥式变流器之该等开关之一输出处与该等第一以及第二整流器间之一内部互连间,且该电容器更包含一对电容器之一结合电容,该对电容器中之每一者皆系与个别第一以及第二整流器并联连接。66.依据申请专利范围第63项之电浆控制系统,其中,该等第一以及第二整流器个别更包含一对串联连接之二极体,且该第一谐波滤波器包括一电感器以及一电容器,且该电感器系设置于该等开关之一输出处以及该等第一以及第二二极体间之一内部互连间,且该电容器更包含数个电容器之一结合电容,其中,个别电容器系对应于每一个别二极体对中之一者,每一者皆系并联连接于一对应个别二极体。67.依据申请专利范围第63项之电浆控制系统,更包含:一对串联连接设置于该DC电压源之该等个别电压轨道间之电容器;该变流器包含一对串联连接设置于该DC电压源之该等个别电压轨道间之开关;以及一设置于该等电容器之一内部互连以及该等开关之一内部互连间之电感器。68.依据申请专利范围第67项之电浆控制系统,更包含一对二极体,每一个二极体系与一个别电容器并联连接。69.依据申请专利范围第67项之电浆控制系统,其中,每一该等开关更包含一对串联连接之开关,且更包含一与每一开关并联连接之电容器。70.一种电浆控制系统,包含:一由一射频(RF)信号激发之电浆腔室;一用以产生供至该电浆腔室之一RF信号之RF产生器,该RF产生器包括:一RF控制器,该RF控制器可产生一电源供应器控制信号;以及一用以接收该电源供应器控制信号并依据该电源供应器控制信号产生一RF信号之电源供应器,该电源供应器更包括:一直流(DC)电压源;一用以接收该DC输入电压并用以产生一交流(AC)输出信号之全桥式变流器,该全桥式变流器包含一对半桥式变流器;一设于每一个别半桥变流器之输出处之第一谐波滤波器,该谐波滤波器可过滤该AC信号之预定谐波分量以产生一滤波AC信号;以及一设于该等第一谐波滤波器之该结合输出处之输出电路,该输出电路可接收该滤波AC信号并将该滤波AC信号馈送至一负载,其中,该输出电路包括相对于该输出电路中之一点连接之第一以及第二整流器,使得若该变流器试图将该点驱动至一超过一预定第一以及第二电压中之一者之电压,该等第一以及第二整流器中之个别一者将导通为可令电压以及电流中之至少一者返回至该DC电压源。71.依据申请专利范围第70项之电浆控制系统,更包含一位于该等第一谐波滤波器之该结合输出处之第二谐波滤波器,该第二谐波滤波器可自该第一滤波AC信号移除谐波分量以产生一输出信号。72.依据申请专利范围第71项之电浆控制系统,更包含一位于该第二谐波滤波器之该输出处之用以自该第二谐波滤波器之该输出处移除DC分量之阻隔电容器。73.依据申请专利范围第71项之电浆控制系统,其中,该第一谐波滤波器包括串联连接之一电感器以及一电容器,且该第一谐波滤波器系与该半桥式变流器之该等开关中之一者并联连接而设置。74.依据申请专利范围第72项之电浆控制系统,其中,该第二谐波滤波器包括串联连接之一电感器以及一电容器,且该第二谐波滤波器系与该半桥式变流器之该等开关中之一者并联连接而设置。75.依据申请专利范围第71项之电浆控制系统,其中,该第一谐波滤波器包括一电感器以及一电容器,且该电感器系设置于该等开关之一输出处与该等第一以及第二整流器间之一内部互连间,且该电容器更包含一对电容器之一结合电容,该对电容器中之每一者皆系与个别第一以及第二整流器并联连接。76.依据申请专利范围第75项之电浆控制系统,其中,该第二谐波滤波器包括一电感器以及一电容器,且该电感器系设置于该等开关之一输出处与该等第一以及第二整流器间之一内部互连间,且该电容器更包含一对电容器之一结合电容,该对电容器中之每一者皆系与该等个别第一以及第二整流器并联连接。77.依据申请专利范围第71项之电浆控制系统,更包含:一对串联连接设置于该DC电压源之该等个别电压轨道间之电容器;该变流器包含一对串联连接设置于该DC电压源之该等个别电压轨道间之开关;以及一设置于该等电容器之一内部互连以及该等开关之一内部互连间之电感器。78.依据申请专利范围第70项之电浆控制系统,更包含一可产生供至该变流器之每一半桥式变流器之切换信号产生器,其中,该信号产生器可改变操作于该等第一以及半桥式变流器间之一相对相位。79.依据申请专利范围第70项之电浆控制系统,其中,该等电压以及电流中之至少一者系馈送回该变流器。80.一种电浆控制系统,包含:一由一射频(RF)信号激发之电浆腔室;一用以测量该电浆腔室之操作情况并产生用以改变该电浆腔室内之情况的控制信号的电浆控制器;以及一用以产生供至该电浆腔室之一RF信号之RF产生器,该RF产生器包括:一RF控制器,该RF控制器可接收来自该电浆控制器之该控制信号并可产生一电源供应器控制信号;一用以接收该电源供应器控制信号并依据该电源供应器控制信号产生一RF信号之电源供应器;以及一可接收该RF信号之发散电路,其中,若该RF产生器之一预定点之该电压超过一预定第一以及第二电压中之一者,该发散电路将导通以令电压以及电流中之至少一者发散。81.依据申请专利范围第80项之电浆控制系统,其中,该电源供应器更包含:一直流(DC)电压源;一用以接收该DC输入电压并用以产生一交流(AC)输出信号之半桥式变流器;一设于该变流器之该输出处之谐波滤波器,该谐波滤波器可过滤该AC信号之预定谐波分量以产生一滤波AC信号;以及一设于该谐波滤波器之该输出处之用以接收该滤波AC信号并用以将该滤波AC信号馈送至一负载之输出电路,其中,该输出电路包括该等相对于该输出电路中之该点连接之第一以及第二整流器。82.依据申请专利范围第80项之电浆控制系统,其中,该电源供应器更包含:一直流(DC)电压源;一用以接收该DC输入电压并用以产生一交流(AC)输出信号之全桥式变流器,该全桥式变流器包含一对半桥式变流器;一设于每一个别半桥式变流器之该输出处之第一谐波滤波器,该谐波滤波器可过滤该AC信号之预定谐波分量以产生一滤波AC信号;以及一设于该等第一谐波滤波器之该结合输出处之输出电路,该输出电路可接收该滤波AC信号并可将该滤波AC信号馈送至一负载,其中,该输出电路包括该等相对于该输出电路中之该点连接之第一以及第二整流器。图式简单说明:第1和2图如上述的系习知技术中实施的电路图型;第3图系依据本发明之原理而配置的一电源供应器电路;第4图说明其中电路被串联连接来产生一组合输出的一相关发明;第5图系其中电路被并联连接来产生一组合功率输出的一相关发明;第6图系其中一切换桥接器之各半部由单一箝制二极体对组来保护的一相关发明;第7图系其中一共振电路和单一开关提供一输出且单一箝制二极体对组保护该电路的一相关发明;第8图系第7图之电路的三层次实施;第9图系显示一半桥式变流器和一保护电路的相关发明;第10-12图说明依据特别开关装置,供开关装置用的替换组构;第13图系具有与箝制二极体之一个并联的一电容器之电路;第14图系具有与各个箝制二极体并联的一电容器之电路;第15图系具有跨过一串电容器和二极体分割的一电压之电路;第16图系显示一电感和在保护电路中的RC电路之电路;第17图显示用来改善滤波器网路之操作的一MOSFET电路;第18图系用来针对一变流器的替换输入电路以解决装置电容之电路;第19图显示用来解决使用多个FET实施的装置电容之变流器电路;第20图系对第18图之输入电路的改良;第21图显示具有一额外LC串联电路的一变流器;第22图说明用来改变箝制电压的一电源供应器电路;第23-26图说明供与第22图之变流器一起使用的替换恒定电压汲出配置;第27a-27m图说明从合并一保护电路的一例示半桥式变流器采用的波形;第28a-28f图说明从不合并一保护电路的一例示半桥式变流器采用的比较波形;第29图系用于一电源供应器的控制电路之方块图;第30图系利用一保护电路的电浆系统之方块图;及第31图系用于第30图之控制电路的一匹配网路。
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