发明名称 绝缘膜形成用光阻组成物,有机电致发光元件用绝缘膜及其制法
摘要 本发明系提供一种可使适合作为有机EL元件用绝缘膜具有末端扩大型形状的绝缘膜之光阻组成物、有机EL元件用绝缘膜及其制法。本发明系为含有(A)硷可溶性树脂、(B)二叠氮基磺酸酯、与(C)含热硬性成分之有机溶剂的光阻组成物,且使用该组成物藉由微影术在基板上形成的阻剂膜加热处理所成的上面末端部分为圆形之末端扩大型、厚度为0.3~3μ m之有机电致发光元件用绝缘膜、以及使该绝缘膜使用上述光阻组成物制造的方法。
申请公布号 TW594395 申请公布日期 2004.06.21
申请号 TW090112882 申请日期 2001.05.29
申请人 杰恩股份有限公司 发明人 柏木干文;三田尾德之
分类号 G03F7/022;H05B33/14 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼;何秋远 台北市大安区敦化南路二段七十七号八楼
主权项 1.一种光阻组成物,其为在透明基板上形成透明电 极层后,使用光阻依微影术设置具有所欲图案的绝 缘膜,形成有机电致发光材料层,再于其上积层金 属电极层,藉由在其上形成密封层,而形成有机电 致发光元件的方法中,藉由微影术用于设置具有所 欲图案的绝缘膜之光阻组成物,其包含(A)100重量份 的硷可溶性树脂和(B)1~50重量份的含二叠氮基磺 酸酯之有机溶剂的组成物,其特征为更含有(C)成分 ,为1~20重量份的热硬性成分,其之硬化温度系高于 使用该组成物藉由微影术所形成的光阻膜之耐热 温度。2.如申请专利范围第1项之光阻组成物,其中 (C)成分之热硬性成分为以一般式[1]所示之热硬性 醯亚胺树脂, 其中R系表示以 或 所示的基(n为3~8之整数)。3.一种绝缘膜,其使用如 申请专利范围第1或2项之组成物,使藉由微影术在 基板上形成的所欲图案之光阻膜加热处理而成的 上述端部为圆形的末端扩大型厚度为0.3~3m。4. 一种如申请专利范围第3项之绝缘膜的制法,其特 征为使用如申请专利范围第1或2项之组成物,藉由 微影术在基板上形成具有所欲图案之剖面实质上 为矩形的光阻膜后,在较其耐热温度高的温度下加 热处理,且使该光阻膜中之热硬性成分硬化。5.一 种有机电致发光元件,其为藉由设置绝缘膜,系为 在透明基板上形成透明电极层后,使用如申请专利 范围第1或2项之光阻组成物,使藉由微影术在基板 上形成的所欲图案之光阻膜加热处理而成的上述 端部为圆形的末端扩大型厚度为0.3~3m的绝缘膜; 形成有机电致发光材料层;再于其上积层金属电极 层,及于其上形成密封层气而形成者。图式简单说 明: 第1图系表示有机EL元件例之原理图。 第2图系表示一般有机EL元件之发光体部例的构成 部分剖面图。 第3图系表示于本发明之绝缘膜中使藉由微影术形 成的阻剂膜加热处理时之形状变化例的说明图。 第4图系表示本发明有机EL元件之发光体部例之构 成的部分剖面图。
地址 日本