| 主权项 |
1.一种雾汽除去装置,是为了除去含在空气中的雾 汽的雾汽除去装置,其具备有:在装置内形成的空 气流路中,具有为了将含在空气中的雾汽通过惯性 冲突除去,使空气进行冲突的惯性冲突部件;为了 将含在空气中的雾汽捕集成液体粒子除去而喷射 液体的喷雾部分;配置在下游侧,为了通过时捕集 除去含在空气中的雾汽可使空气通过的细密的过 滤器;及向流路内通入空气的风扇。2.如申请专利 范围第1项的雾汽除去装置,其中在上述细密过滤 器的上游侧具有比上述细密过滤器的孔还粗的粗 孔过滤器。3.如申请专利范围第1或2项的雾汽除去 装置,其中具有沿着圆筒状的内壁一边旋转一边通 气来离心分离雾汽的流路。4.如申请专利范围第1 或2项的雾汽除去装置,其中上述喷雾部分的近前 方的流路,其断面此其他处狭窄。5.一种空气净化 装置,其具有:如申请专利范围第1~4项中任一项的 雾汽除去装置,其在侧面的一处形成被加工物的入 口,在另一个侧面形成出口,具有连接上述入口和 上述出口的被加工物的输送通道,在对输送到此通 道上的被加工物喷射药液的湿式处理装置上,具有 雾汽除去装置,用以将装置本体内部的空气吸引到 装置本体的外部,而除去空气中的雾汽;以及,把被 上述雾汽除去装置所过滤的空气导向上述空气入 口及上述空气出口的至少一方的导管。图式简单 说明: 第1图 表示本发明实施方式的蚀刻系统的图; 第2图 表示过滤器单元的图; 第3图 是构成蚀刻系统的装置的被加工物的出口 附近的放大图; 第4图(A)~(C)说明各装置的被加工物的加工的图; 第5图 过滤器洗涤部分的构成图; 第6图 表示雾汽除去装置的概要的构成图; 第7图 表示与第2实施方式不同构成的雾汽除去装 置的概要构成图; 第8图(A)~(C)表示与第2实施方式及第3实施方式不同 构成的雾汽除去装置的概要构成之三视图,其中第 8图(A)为前视图,第8图(B)为上视图,及第8图(C)为右 侧视图。 |
