发明名称 用以显影液晶显示器之装置与方法
摘要 本发明提供一种用以显影(developing)大尺寸液晶显示器(liquid crystal display,LCD)之装置与方法。上述装置包括一条形显影剂(developer)喷嘴(spraying nozzle)以及一条形显影剂吸嘴(removing nozzle)。上述条形显影剂喷嘴被安装在离一基底(substrate)一预定距离之处并且喷涂显影剂在上述基底之上。上述条形显影剂吸嘴与上述条形显影剂喷嘴之一侧保持一预定距离,并以真空状态来收集由上述显影剂喷嘴所喷涂之显影剂,且清除所喷涂之显影剂。因此,可将上述装置与方法应用至清洗(rinsing)制程、剥离(stripping)制程、显影制程以及蚀刻(etching)制程。伍、(一)、本案代表图为:第___6_____图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明:100显影剂喷嘴102显影剂吸嘴200玻璃层202光阻层204基底
申请公布号 TW594440 申请公布日期 2004.06.21
申请号 TW092104617 申请日期 2003.03.05
申请人 显像制造服务股份有限公司 发明人 朴庸硕;韩占烈
分类号 G03F7/30;G02F1/13 主分类号 G03F7/30
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一;萧锡清 台北市中正区罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种用以显影一液晶显示器之装置,该装置包括: 一条形显影剂喷嘴,该喷嘴被安装在离一基底一预 定距离之处并且喷涂一显影剂在该基底之上;以及 一条形显影剂吸嘴,该吸嘴与该显影剂喷嘴之一侧 保持一预定距离,并以一真空状态来收集由该显影 剂喷嘴所喷涂之该显影剂,且清除所喷涂之该显影 剂。2.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该条 形显影剂喷嘴之该预定距离是在0.5-5毫米(mm)的范 围内。3.如申请专利范围第1项所述之装置,其中该 条形显影剂吸嘴之该预定距离是在5-50毫米(mm)的 范围内。4.如申请专利范围第1项所述之装置,该装 置除了该条形显影剂吸嘴之外更包括一显影剂喷 嘴以及一显影剂吸嘴。5.一种用以显影一液晶显 示器之方法,该方法包括: (a)将完全曝光之一基底安装在一液晶显示器显影 装置之一卡盘上; (b)利用一个安装于离该基底一预定距离之显影剂 喷嘴来喷涂一显影剂在该基底之上;以及 (c)利用一个与该显影剂喷嘴之一侧保持一预定距 离之显影剂吸嘴以一真空状态来收集所喷涂之该 显影剂,并且清除所收集之该显影剂。6.如申请专 利范围第5项所述之方法,其中当该液晶显示器显 影装置之该卡盘以一预定方向移动时执行步骤(b) 及(c)。7.如申请专利范围第5项所述之方法,其中当 该显影剂喷嘴及该显影剂吸嘴以一预定方向移动 时执行步骤(b)及(c)。8.如申请专利范围第5项所述 之方法,其中利用一个或多个显影剂喷嘴以及一个 或多个显影剂吸嘴能够有效地执行步骤(b)及(c)。 图式简单说明: 第1图至第5图为如先前技艺所述之一种用以显影 液晶显示器(LCD)之装置与方法之示意图。 第6图及第7图为如本发明之一实施例所述之一种 用以显影液晶显示器(LCD)之装置与方法之示意图 。 第8图及第9图为如本发明之另一实施例所述之一 种用以显影液晶显示器(LCD)之装置与方法之示意 图。
地址 韩国