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1.一种基板组装装置,是针对具有用来形成减压气 相的箱室、及在前述箱室内把持一者的基板且构 成为能往上下移动之加压板、及与把持在前述加 压板之基板成对向而隔有间隔把持他者的基板之 基板把持载置台,驱动前述基板把持载置台,进行 前述一者的基板与他者的基板之位置对准,往上下 驱动前述加压板,缩小基板间的间隔,用设在前述 基板的其中一者之粘接剂,在减压气相中进行贴合 之基板组装装置,其特征为: 为了使基板把持在前述加压板而具备有用负压之 复数个吸引孔,前述复数个吸引孔当中,加压板中 央部旁边及其周围的吸引孔设在具备上下移动机 构之复数个吸盘。2.如申请专利范围第1项之基板 组装装置,其中前述复数吸盘设在加压板中央部旁 边。3.如申请专利范围第1或2项之基板组装装置, 其中与前述加压板的基板送入口相反侧在其端部 设置复数个吸盘。4.一种基板组装装置,是针对具 有用来形成减压气相之箱室、及在前述箱室内把 持一者的基板且构成为能往上下移动之加压板、 及与把持在前述加压板之基板相对向而隔有间隔 把持他者的基板之基板把持载置台,驱动前述基板 把持载置台,进行前述一者的基板与他者的基板之 位置对准,往上下驱动前述加压板,缩小基板问的 间隔,用设在前述基板的其中一者之粘接剂,在减 压气相中进行贴合之基板组装装置,其特征为: 依将基板送入到前述加压板之自动机器手的爪部 前端侧的挠曲量将基板往上推到加压板侧之基板 前端校正机构是设置在箱室内。5.一种基板组装 装置,是针对具有用来形成减压气相之箱室、及在 前述箱室内把持一者的基板且构成为能往上下移 动之加压板、及与把持在前述加压板之基板相对 向而隔有间隔把持他者的基板之基板把持载置台, 驱动前述基板把持载置台,进行前述一者的基板与 他者的基板之位置对准,往上下驱动前述加压板, 缩小基板间的间隔,用设在前述基板的其中一者之 粘接剂,在减压气相中进行贴合之基板组装装置, 其特征为: 为了吸引到前述加压板,设成将复数个吸引孔分割 成超过3个以上的组群,具备负压源或调压阀使各 群组能可变其吸引力。6.如申请专利范围第1.2.4或 5项之基板组装装置,其中具备有当前述箱室内减 压时用来把持前述基板之静电式吸持机构或粘合 把持机构。7.一种基板组装方法,是针对在真空箱 室内上下隔着间隔使2片基板相对向而利用吸引分 别把持在上下的载置台,进行位置对准,经缩小两 基板的间隔,用设在其中一者的基板之粘接剂,进 行两基板的贴合之基板组装方法,其特征为: 当基板把持在前述上侧载置台时,从前述基板的中 央部开始使吸持力作用。8.一种基板组装方法,是 针对在真空箱室内上下隔着间隔使2片基板相对向 而利用吸引分别把持在上下的载置台,进行位置对 准,经缩小两基板的间隔,用设在其中一者的基板 之粘接剂,进行两基板的贴合之基板组装方法,其 特征为: 当基板把持在前述上侧载置台时,从前述基板的中 央部朝向周围依序用备有上下移动机构的吸盘吸 引且进行升起,而吸附在上侧载置台上。图式简单 说明: 第1图为表示本发明一实施形态之基板组装置的构 成之图。 第2图(a)(b)为表示用于基板搬运之自动机器手的概 要之图。 第3图(a)(b)为说明设在加压板之吸盘的概略构成及 基板挠曲时的把持方式之图。 第4图(a)(b)为说明校正自动机器手的爪部挠曲所造 成的基板挠由的机构之说明图。 第5图(a)(b)(c)为本发明用来把持挠曲基板之其他构 成的图面。 |
