| 主权项 |
1.一种装设于洗边手臂上之气体喷嘴,其中该洗边 手臂会沿着基板边缘循环绕行,并喷洒化学溶剂至 该基板边缘表面,而溶解附着于该基板边缘之部份 光阻材料,该洗边手臂并具有一抽气管线,用以抽 除喷洒于该基板表面之化学溶剂与溶解的光阻微 粒,其中该气体喷嘴系装设于该洗边手臂上缘,并 具有一向前延伸的钩状喷口,勾绕于该洗边手臂前 端,该钩状喷口之喷出气体方向正相对于上述抽气 管线之开口,以防止该洗边手臂喷洒出来之该化学 溶剂回溅于该基板内侧。2.如申请专利范围第1项 所述之气体喷嘴,其中上述洗边手臂前端具有一个 "ㄈ"字型开口,以便基板侧边可伸入该"ㄈ"字型开 口进行洗边程序。3.如申请专利范围第2项所述之 气体喷嘴,其中上述抽气管线开口系位于该"ㄈ"字 型开口的内壁上。4.如申请专利范围第2项所述之 气体喷嘴,其中上述"ㄈ"字型开口的上、下两端分 别具有药剂喷口,会朝着位于"ㄈ"字型开口中之该 基板进行药剂喷洒的洗边动作。5.如申请专利范 围第4项所述之气体喷嘴,其中上述钩状喷口正好 朝向该"ㄈ"字型开口喷出气体,以防止所述上端药 剂喷口所喷出之药剂,回溅于该基板内侧表面。6. 一种可防止化学溶剂回溅于基板内侧之洗边机台, 该洗边机台至少包括: 一承托底座,用以承托进行洗边之基板,该承托底 座系承接该基板下表面的中央位置,以便对该基板 侧边之上、下表面沾附之光阻材料进行洗边程序; 一洗边手臂,其前端具有凸出的上、下平板,该上 、下平板并构成一个"ㄈ"字型的内凹空间,以允许 该基板侧边沿伸至该内凹空间凹进行所述洗边程 序,在该上平板的下表面具有第一药剂喷口,可喷 洒化学溶剂清洗该基板侧边上表面,至于在该下平 板的上表面则具有第二药剂喷口,用以喷洒该化学 溶剂而清洗该基板侧边下表面,并且在该内凹空间 的内壁上具有一抽气开口,用以抽除该基板上之该 化学溶剂与溶解之光阻材料;及 一气体喷嘴,装设于该洗边手臂上缘,其前端具有 一钩状喷口,勾绕于该上平板前端且延伸至该内凹 空间中,该钩状喷口喷出气体方向正相对于上述抽 气开口,以防止该上平板下表面之该第一药剂喷口 所喷洒之该化学溶剂回溅于该基板内侧。7.如申 请专利范围第6项所述之洗边机台,其中更包括一 真空管线,其前端连接于该洗边手臂之该抽气开口 ,至于其末端则连结于一自动气阀,并由该自动气 阀之开、关来控制气体抽除动作。8.如申请专利 范围第7项所述之洗边机台,其中上述自动气阀系 藉由一电磁阀来进行开、关动作,当该电磁阀的开 关扳动至第一位置时,沿着第一管线流入该自动气 阀之氮气,可开启该自动气阀而进行真空抽气。9. 如申请专利范围第8项所述之洗边机台,其中更包 括一氮气管线,连结于该第一管线与上述气体喷嘴 之间,可使该第一管线中之部份该氮气,沿着该氮 气管线传送至该气体喷嘴。10.如申请专利范围第9 项所述之洗边机台,其中在所述氮气管线上更装设 一节流阀与一压力表,以控制氮气管线中之氮气流 量。11.一种可防止化学溶剂回溅于基板内侧之洗 边机器手臂,该洗边机器手臂至少包括: 一平板,在该平板前端下表面具有喷口,用以喷洒 化学溶剂; 一阶梯板块,其阶梯上表面接合于该平板后端,与 该平板构成一内凹的空间,以允许该基板侧边沿伸 至其间进行洗边程序,在该阶梯壁上并具有一开口 用以抽除气体,至于在该阶梯板块前端上表面亦具 有喷口,用以喷洒该化学溶剂; 一上固定壁,固定于该平板上表面,其末端连接第 一药剂管线,可传送该化学溶剂至该平板; 一下固定壁,固定于该阶梯板块下表面,其末端连 接第二药剂管线,以传送该化学溶剂至该阶梯板块 ; 一固定座,连接于该平板与该阶梯板块后壁; 一真空管线,贯通该固定座与该阶梯板块之阶梯部 份,可经由该阶梯壁上之该开口,抽除该基板上之 该化学溶剂与溶解的光阻微粒;以及 一气体喷嘴,装设于该上固定臂上缘,其前端具有 一钩状喷口,勾绕于该上固定臂与该平板前端,而 延伸至该内凹空间中,该钩状喷口之喷出气体方向 正相对于上述阶梯壁上之该开口,以防止该平板下 表面之该喷口所喷洒的该化学溶剂回溅于该基板 内侧。12.如申请专利范围第11项所述之洗边机器 手臂,其中上述真空管线之末端系连结于一自动气 阀,并由该自动气阀之开、关来控制抽除动作。13. 如申请专利范围第12项所述之洗边机器手臂,其中 上述自动气阀系藉由一个四通二位之电磁阀来进 行开、关动作,当该电磁阀的开关扳动右侧位置时 ,沿着第一管线流入该自动气阀之氮气,可开启该 自动气阀而进行真空抽气。14.如申请专利范围第 13项所述之洗边机器手臂,其中上述气体喷嘴末端 之氮气管线,系以一个三通接管,连结于该第一管 线上,以使该第一管线中之部份该氮气,沿着该氮 气管线传送至该气体喷嘴。15.如申请专利范围第 14项所述之洗边机器手臂,其中在所述氮气管线上 更装设一节流阀与一压力表,以控制氮气管线中之 氮气流量。图式简单说明: 第一图显示了进行洗边程序之基板俯视图,其中洗 边手臂会分布于基板的四个角落,并沿着其边缘进 行循环绕行,以便移除附着于基板边缘之部份光阻 材料; 第二图显示了目前洗边机器手臂之结构; 第三图为洗边机器手臂之截面图,显示在对基板进 行洗边程序时之情形; 第四图为本发明所提供洗边机器手臂之结构图; 第五图为本发明所提供洗边机器手臂之结构截面 图;及 第六图为本发明中所提供气体喷嘴之管线布局设 计。 |
