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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT ASSEMBLY CLEANING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 SG104301(A1) 申请公布日期 2004.06.21
申请号 SG20020001109 申请日期 2002.02.26
申请人 AGILENT TECHNOLOGIES, INC. 发明人 PAMELA L CHRISTISON;LAWRENCE E HOUDEK;JOHN PRATT;RUSSELL BJORLIE;WILLIAM H HANNA;PERRY H. PIERCE
分类号 B08B3/04;(IPC1-7):B08B3/04 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
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