发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR OVERLAY CONTROL USING MULTIPLE TARGETS
摘要
申请公布号 AU2003291236(A1) 申请公布日期 2004.06.18
申请号 AU20030291236 申请日期 2003.11.06
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC. 发明人 CHRISTOPHER, A. BODE;RICHARD, D. EDWARDS;GARY, K. JONES
分类号 G03F7/20;H01L21/66;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
地址