发明名称 METHOD AND DEVICE FOR JOINING
摘要
申请公布号 AU2003284473(A1) 申请公布日期 2004.06.18
申请号 AU20030284473 申请日期 2003.11.27
申请人 TORAY ENGINEERING CO., LTD. 发明人 AKIRA YAMAUCHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60;C04B37/00;H01L21/02;H01L21/52;H05K3/26 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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