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发明名称 PROBE ARRAY AND METHOD OF ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 AU2003293027(A1) 申请公布日期 2004.06.18
申请号 AU20030293027 申请日期 2003.11.24
申请人 FORMFACTOR, INC. 发明人 GAETAN, L. MATHIEU;BENJAMIN, N. ELDRIDGE;GARY, W. GRUBE
分类号 B23H9/00;G01R1/073;(IPC1-7):G01R1/073;B23H1/04 主分类号 B23H9/00
代理机构 代理人
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