| 发明名称 |
Muster-Übertragungsverfahren mittels eines Ladungsträgerstrahls |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69533014(D1) |
申请公布日期 |
2004.06.17 |
| 申请号 |
DE19956033014 |
申请日期 |
1995.06.16 |
| 申请人 |
NIKON CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
OKINO, TERUAKI;NAKASUJI, MAMORU |
| 分类号 |
H01J37/302;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/302 |
主分类号 |
H01J37/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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