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发明名称
Verfahren zur Herstellung eines kleinflächigen Kontakts zwischen Elektroden
摘要
申请公布号
DE69724478(T2)
申请公布日期
2004.06.17
申请号
DE19976024478T
申请日期
1997.10.02
申请人
MICRON TECHNOLOGY, INC.
发明人
GILGEN, BRENT
分类号
H01L27/10;H01L27/105;H01L27/24;H01L45/00;(IPC1-7):H01L45/00
主分类号
H01L27/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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