| 发明名称 |
Verfahren zum Bedampfen bandförmiger Substrate mit einer transparenten Barriereschicht aus Aluminiumoxid |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bedampfen bandförmiger Substrate mit einer transparenten Barriereschicht aus Aluminiumoxid durch reaktive Verdampfung von Aluminium und Einlass von Reaktivgas in einer Bandbedampfungsanlage, bei dem vor der Beschichtung mit Aluminiumoxid eine unvollständig geschlossene Schicht aus einem Metall oder einem Metalloxid durch Magnetronsputtern auf das Substrat aufgebracht wird.
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| 申请公布号 |
DE10255822(A1) |
申请公布日期 |
2004.06.17 |
| 申请号 |
DE20021055822 |
申请日期 |
2002.11.29 |
| 申请人 |
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. |
发明人 |
SCHILLER, NICOLAS;STRAACH, STEFFEN;RAEBISCH, MATHIAS;FAHLAND, MATTHIAS;CHARTON, CHRISTOPH |
| 分类号 |
C23C14/00;C23C14/02;C23C14/08;C23C14/35;C23C28/00;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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