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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zur optischen Messung von Überzugsschichten
摘要
申请公布号
DE50006388(D1)
申请公布日期
2004.06.17
申请号
DE20005006388
申请日期
2000.09.29
申请人
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON
发明人
VOYE, CHRISTIAN;RUPIEPER, PAUL;CRAMM, JOACHIM
分类号
G01N21/57;G01N21/84;(IPC1-7):G01N21/57
主分类号
G01N21/57
代理机构
代理人
主权项
地址
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