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发明名称 Ionenquelle mit breitem Ausgangstromarbeitsbereich
摘要
申请公布号 DE69910639(T2) 申请公布日期 2004.06.17
申请号 DE19996010639T 申请日期 1999.02.24
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 BRAILOVE, ADAM ALEXANDER;SATO, MASATERU
分类号 H01J27/08;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J27/16 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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