| 发明名称 |
REINIGUNGSGERäT FüR HALBLEITERSCHEIBEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69724083(T2) |
申请公布日期 |
2004.06.17 |
| 申请号 |
DE19976024083T |
申请日期 |
1997.02.28 |
| 申请人 |
SOLID STATE EQUIPMENT CORP., FORT WASHINGTON |
发明人 |
ITZKOWITZ, HERMAN |
| 分类号 |
B08B1/04;B08B3/04;G11B23/50;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/02;B08B11/02 |
主分类号 |
B08B1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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