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发明名称 Verfahren und Apparatur zum Ätzen von Silicium-Materialien
摘要
申请公布号 DE19713090(B4) 申请公布日期 2004.06.17
申请号 DE19971013090 申请日期 1997.03.27
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 TAKENAKA, MIYUKI;YAMADA, YUJI;HAYASHI, MASARU;MATSUNAGA, HIDEKI;OKADA, AKIRA
分类号 H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):G01N1/32;C23F1/08 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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