Bedampfungsvorrichtung

摘要

Eine Bedampfungsvorrichtung zum Bedampfen von vertikal ausgerichteten Bereichen eines Substrates hat einen stehend angeordneten, elektrisch beheizten Schmelztiegel (2) mit einer elektrischen Heizung (11) für das zu verdampfende Material. Auf dem Schmelztiegel (2) sitzt von oben her ein vom Schmelztiegel (2) separates, an seiner oberen Seite verschließbares Düsenrohr (3), welches zum Bedampfen des Substrates einen Dampfauslass (8) aufweist. Das Düsenrohr (3) hat eine von der Heizung (11) des Schmelztiegels (2) unabhängige Heizung (10).