| 摘要 |
本发明之光罩包含基板、选择地形成于基板上之半透明膜及选择地形成于半透明膜上的遮光膜，设基板、半透明膜及遮光膜的各个杨氏系数(MPa)为E0、E1及E2，设各个的厚度(m)为d0、d1及d2，设半透明膜及遮光膜于室温之各个内部应力(MPa)为s1及s2，设未形成遮光膜之区域之半透明膜的覆盖率为h，设系数k1至k4各个为k1=1.3×10^-8、k2=-9.5×10^-2、k3=6.0×10^-7、k4=-5.2×10^-2，则满足以下条件：∣1／E0．d0{h(k1．s1／E1．d1+k2)+(k3．s1／E1．d1+k4)}∣≦1.4×10@#-4(m^-1)。 |
