量测硬体对通用数据库之适应

摘要

为了产生用于半导体结构光学量测中的系数组，得到对一组参数之至少三个光学量测讯号。光学量测讯号为自半导体结构绕射的指示光线，并将参数组之至少一个参数值改变以产生各讯号。得到至少三个光学量测讯号之间的函数关系，函数关系包括至少三个系数值。由函数关系的至少三个系数值决定至少三组系数。