风机 - 滤网机组风量回授控制方法与装置

摘要

一种风机–滤网机组风量回授控制方法与装置，其可例如应用于半导体制造工厂之无尘室的风机–滤网机组上，用以控制该风机–滤网机组恒定地保持于一预设之固定送风量。此风机–滤网机组风量回授控制方法与装置的特点在于以送风量为回授控制参数，而非知技术般地以马达转速为回授控制参数，因此可控制风机–滤网机组恒定地保持于一预设之固定送风量。此风机–滤网机组风量回授控制方法与装置因此较知技术具有更佳之进步性及实用性。