反射式空间光调变器的制造方法

摘要

本案提供一种包括微镜阵列的反射式空间光调变器之制造方法。于一个实施例中，微镜阵列系仅藉由两种主要蚀刻步骤以单晶材料的基板而予以建构的。第一蚀刻形成凹穴于此材料的第一侧。第二蚀刻形成支撑柱、垂直铰接及镜板。在第一与第二蚀刻之间，基板可结合至定址及控制电路。