| 摘要 |
本发明系提供一种用于FPD制造设备之基板支撑装置，包括一基板支撑座上可水平放置一玻璃基板，此基板支撑座具有若干垂直通孔，每一垂直通孔具有一反锥形之上端部份；另有复数个升降杆分别插设在垂直通孔内，且此升降杆系可上升下降，使基板可由基板支撑座上升或是向下放在基板支撑座上，每一升降杆则具有一反锥形之上端，使其与相对应之垂直通孔的上端部份相匹配。如本发明所述，升降杆上端系呈非条状的反锥形，以紧密与基板支撑接触，故可在基板支撑座与每一升降杆之间保持等温度与等电位，因此，基板上不会产生任何斑点，并可均匀地进行薄膜成形与蚀刻制程。 |
