光可变衰减器及光模组

摘要

本发明之光可变衰减器1具有平面波导路2，在该平面波导路2上，设有形成输入用光路A以及输出用光路B之光波导路3。在平面波导路2的上面设有悬臂梁6，在该悬臂梁6之前端部，固定有将输入用光路A上通过之光向输出用光路B反射之可动反射镜8，同时，在平面波导路2上面设有电极9，悬臂梁6与电极9介由电压源11连接，利用该电压源11在悬臂梁6与电极9之间施加电压，使在两者间产生静电力，使悬臂梁6之前端侧部分向电极9侧弯曲，由此，提供可动反射镜8向电极9侧移动之光可变衰减器。