发明名称 | 硬质被膜及硬质被膜被覆工具 | ||
摘要 | 一种硬质被膜,它是通过电弧放电式离子镀法形成的,其特征在于:具有由Al<SUB>x</SUB>Cr<SUB>1-x-y</SUB>Si<SUB>y</SUB>(其中,x和y以原子比计分别满足0.45≤x≤0.75、0≤y≤0.35和0.5≤x+y≤1。)表示的金属成分和N<SUB>1-α-β-γ</SUB>B<SUB>α</SUB>C<SUB>β</SUB>O<SUB>γ</SUB>(其中,α、β和γ以原子比计分别满足0≤α≤0.15、0≤β≤0.35和0.003≤γ≤0.25。)表示的非金属成分构成的组成,并具有岩盐型晶体结构,(111)面或(200)面的X射线衍射峰的2θ半宽为0.5~2.0°,硬质被膜晶粒内存在的氧比晶界上的氧多。 | ||
申请公布号 | CN1504589A | 申请公布日期 | 2004.06.16 |
申请号 | CN200310120935.5 | 申请日期 | 2003.11.19 |
申请人 | 日立工具股份有限公司 | 发明人 | 石川刚史 |
分类号 | C23C14/06;C23C14/34 | 主分类号 | C23C14/06 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
主权项 | 1.硬质被膜,其特征在于:它是通过电弧放电式离子镀法形成的,具有由AlxCr1-x(其中,x以原子比计满足0.45≤x≤0.75)表示的金属成分和N1-α-β-γBβCβOγ(其中,α、β和γ以原子比计分别满足0≤α≤0.15,0≤β≤0.35和0.01≤γ≤0.25)表示的非金属成分构成的组成,在(200)面或(111)面具有最大X射线衍射强度,在X射线光电子能谱法中,Al和/或Cr与氧的结合能为525~535eV。 | ||
地址 | 日本东京都 |