研磨垫的制造方法

摘要

一种研磨垫的制造方法，此方法首先提供一模具，接着在此模具内预埋入至少一条状物，其中条状物的断面形状包括多边形、圆弧形或不规则形。然后于此模具中注入一高分子发泡体，并待高分子发泡体硬化成型后，进行一脱模步骤，而取得一高分子成型物。最后移除或分解高分子成型物上的条状物，即形成具有至少一沟槽图案的一研磨垫。

主权项

1、一种研磨垫的制造方法，其特征在于：包括：提供一模具，其中该模具具有一模腔；在该模具内预埋入至少一条状物，其中该至少一条状物的断面形状包括多边形、圆弧形或不规则形；于该模具的该模腔中注入一高分子发泡体，并待该高分子发泡体硬化成型；进行一脱模步骤，以取得一成型物；移除该成型物上的该条状物，以形成具有至少一沟槽图案的一研磨垫。