| 发明名称 |
Integration of bipolar and CMOS devices for sub-0.1 micrometer transistors |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1030363(A3) |
申请公布日期 |
2004.06.16 |
| 申请号 |
EP19990480058 |
申请日期 |
1999.07.09 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PTE LTD. |
发明人 |
PAN, YANG;LIU, ERZHUANG |
| 分类号 |
H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L21/824 |
主分类号 |
H01L27/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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