摘要 |
本发明揭示一种碳纳米管阵列结构,其包括一基底、形成于基底上的催化剂层、以及从催化剂层上长出的碳纳米管阵列,该碳纳米管阵列具有向一方向弯曲的特性。本发明提供的碳纳米管阵列具有向一预定的方向弯曲,丰富碳纳米管器件设计的多样性,为碳纳米管器件的设计提供更多的选择空间。本发明同时还揭示了一种制备上述碳纳米管阵列结构的方法。其步骤包括:(1)在基底的表面形成一催化剂层,该催化剂层的厚度均匀一致;(2)在催化剂层上沉积一层影响碳纳米管长生速度的材料;(3)在含氧气氛中退火,使催化剂层氧化成为纳米级催化剂颗粒;(4)通入碳源气,生长碳纳米管。 |