发明名称 MICROELECTRONIC MECHANICAL SYSTEM AND METHODS
摘要
申请公布号 EP1428255(A1) 申请公布日期 2004.06.16
申请号 EP20020798102 申请日期 2002.08.29
申请人 SILICON LIGHT MACHINES 发明人 BRUNER, MIKE
分类号 B81C1/00;B81B3/00;B81B7/00;H01L21/46;H02N1/00;H03H9/24;(IPC1-7):H01L23/02;H01L21/302;H01L21/461 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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