研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫的方法

摘要

本发明涉及研磨半导体晶片的化学机械研磨设备内用于整理研磨垫的研磨垫整理装置及利用其整理研磨垫的方法，其中本发明的研磨垫整理装置包括：研磨垫，具有一相反电极设置于上述研磨垫内；研磨垫整理器，具有一研磨盘及一研磨支撑架，且上述研磨垫整理器内设置有一电极；以及偏压产生器，用于施加一偏压于上述相反电极及电极间以于研磨盘与研磨垫间产生一电场以吸附或吸引带电荷粒子。

主权项

1.一种研磨垫整理装置，适用于研磨半导体晶片的化学机械研磨设备中，其特征在于，包括：一研磨垫，具有一相反电极设置于该研磨垫内；一研磨垫整理器，具有一研磨盘及一研磨支撑架，且该研磨垫整理器内设置有一电极；以及一偏压产生器，用于施加一偏压于该相反电极及电极间以于该研磨盘与该研磨垫间产生一电场以吸附或吸引带电荷粒子。