带有功率控制的电感耦合等离子体自激式射频发生器

摘要

本发明为精密科学测试分析仪器类，电感耦合等离子体发射光谱仪中的射频发生器。电子管FU－5S通过L₁L₂C₁R₁C₂形成的自激振荡器，经过L₁C₃C₄组成的阻抗匹配电路，使振荡功率通过50欧姆同轴电缆，传输到由C₅C₆C₇C₁₀组成的负载匹配调谐电路上。调节C₆C₇使输出功率最大的加到形成等离子体的工作线圈L₄上，在同轴电缆上装有功率耦合器，耦合出高频功率信号电压，经检波后加到控制电路上，形成闭环自动功率控制。解决了自激式射频发生器取功率反馈信号进行自动控制的难题。使自激式射频发生器的稳定性大大提高，满足了电感耦合等离子体发射光谱仪测量精度的要求。参看说明书摘要附图。

主权项

权利要求： 1、在高频箱内，电子管FU-5S经L₁L₂C₁R₁C₂组成的振荡电路和L₁C₃C₄组成的 阻抗匹配电路。在负载匹配箱内由L₄C₅C₆C₇C₁₀组成的负载匹配调谐电路，两者 通过50欧姆同轴电缆连接。