氧化物结晶表面的超平坦化方法

摘要

本发明提供了超平坦化既不溶于酸也不溶于碱的氧化物结晶的方法，用该超平坦化方法制备ReCa₄O(BO₃)₃系氧化物单晶薄膜的方法，具有SHG性质的ReCa₄O(BO₃)₃系氧化物单晶薄膜，光入射/发射表面的超平坦化方法，和氧化物结晶的缺陷评价方法。用还原剂还原既不溶于酸也不溶于碱的氧化物结晶的表面，用酸或碱的水溶液溶解经还原的氧化物结晶表面，在大气中对表面溶解的氧化物结晶进行热处理，从而将既不溶于酸也不溶于碱的氧化物结晶表面超平坦化至原子水平。根据该方法，由于其组成和结构的复杂而化学稳定的氧化物既不溶于酸也不溶于碱，甚至不溶于氟酸，它可通过还原而转化成常规溶于盐酸、硝酸或硫酸的更简单的氧化物；因此其结晶表面能够溶解。接着，在大气中于适宜温度下将溶解的表面热处理适宜的时间，使得表面原子重排，表面被超平坦化至原子水平。本发明可应用于需要紫外激光的技术领域，尤其是作为用于光学信息处理、光通信等的光学设备的核心技术。

主权项

1.超平坦化既不溶于酸也不溶于碱的氧化物结晶表面的方法，其特征在于其包括以下步骤：用还原剂还原氧化物结晶表面；用酸或碱水溶液溶解经还原的氧化物结晶表面；在大气中对经还原的表面溶解了的氧化物结晶进行热处理，从而将既不溶于酸也不溶于碱的氧化物结晶表面平坦化至原子水平。