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发明名称 MONOLITHIC THREE-DIMENSIONAL STRUCTURES
摘要
申请公布号 EP1428245(A1) 申请公布日期 2004.06.16
申请号 EP20020747946 申请日期 2002.07.15
申请人 BINOPTICS CORPORATION 发明人 BEHFAR, ALEX;SCHREMER, ALFRED, T.;STAGARESCU, CRISTIAN, B.
分类号 G03F7/20;B81C1/00;G02B6/12;G02B6/13;G02B6/42;G03F7/00;G03F7/09;G03F7/095;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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