| 发明名称 | 致动器及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种致动器(1)，其具有一对臂(12)和一个将臂相互连接的连接部件(15)。臂(12)和连接部件(15)整个地由单晶硅形成。各自的压电装置(30)结合在臂(12)上。 | ||
| 申请公布号 | CN1504998A | 申请公布日期 | 2004.06.16 |
| 申请号 | CN200310115769.X | 申请日期 | 2003.11.28 |
| 申请人 | TDK株式会社 | 发明人 | 宫野雅一;本间光尚 |
| 分类号 | G11B5/58;H01L41/08;H01L41/22 | 主分类号 | G11B5/58 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种致动器，其特征在于，包括：硅结构，整个地由单晶硅形成，具有一对臂和一个将所述臂相互连接的连接部件；以及结合在所述臂上的各自的压电装置。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||