蒸镀方法及蒸镀装置

摘要

一种蒸镀方法及蒸镀装置，此蒸镀装置由一个转轴、一个加热器及供料器所构成。其中，转轴配置在基板上方的中心处，以将此基板旋转。加热器上具有一个蒸镀源，此蒸镀源在基板上的蒸镀范围为一个半径为R的圆形区域。加热器与供料器配置在基板下方，且供料器沿着供料方向提供蒸镀源至加热器上。为了避免加热器上的蒸镀源在供料方向上的位置变化，本发明的蒸镀方法以基板的中心为圆心，定义出一个半径为R的圆形轨迹，并将加热器配置于此圆形轨迹下方的任一点上，并令供料器的供料方向与圆形轨迹在该点的切线方向平行。

主权项

1.一种蒸镀方法，其特征在于，该方法至少包括：提供一个基板，以该基板的中心为轴心将该基板旋转；以该基板的中心为圆心，定义出一个圆形轨迹；提供一个加热器；提供一个供料器，其中该供料器沿着供料方向提供一个蒸镀源至该加热器上；将该加热器与该供料器设置在该圆形轨迹上任一点的下方，并调整该供料器的该供料方向，以使该供料器的供料方向与任一点在该圆形轨迹的切线方向平行；以及以该加热器加热该蒸镀源，进行蒸镀。