有机材料膜的处理方法

摘要

本发明的处理方法是在形成于基板上的有机材料膜的表面上涂布保护膜用的极性液体材料或形成保护膜用的无机材料膜的方法。该方法包括：在稀有气体气氛气下、由电子束照射装置向有机材料膜照射电子束来进行改性处理的工序；和，在进行了改性处理的有机材料膜的表面涂布极性液体材料或形成无机材料膜的工序。通过改性工序，可以在使有机材料膜固化的共时，向有机材料膜赋予与极性液体材料或无机材料膜的亲和性。

主权项

1.一种在形成于基板上的有机材料膜的表面上形成极性液体材料膜的方法，其特征在于：包括：改性工序，在稀有气体气氛气下，由电子束照射装置向所述有机材料膜照射电子束，在使所述有机材料膜固化的同时，进行向所述有机材料膜赋予与所述极性液体材料的亲和性的改性处理；和在进行了所述改性处理的有机材料膜的表面涂布所述极性液体材料的工序。