| 发明名称 | 高温衬底传送机械手 | ||
| 摘要 | 一般地，提供用于在加工系统中传送衬底的机械手。在一个实施方式中，用于在加工系统中传送衬底的机械手包括主体、连杆和末端执行器(适于保持衬底于其上)。连杆将末端执行器与主体连接在一起。末端执行器和/或连杆由热膨胀系数小于大约5×10<SUP>－6</SUP>Kelvin<SUP>－1</SUP>的材料组成。在另外一个实施方式中，末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于10W/(m×Kelvin<SUP>2</SUP>)的材料组成。在再一个实施方式中，末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于10W/(m×Kelvin<SUP>2</SUP>)而且断裂韧性大于1×10<SUP>6</SUP>Pa×m<SUP>0.5</SUP>的材料组成。 | ||
| 申请公布号 | CN1504306A | 申请公布日期 | 2004.06.16 |
| 申请号 | CN03133101.7 | 申请日期 | 2003.07.22 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | 克里斯·H·潘斯兹;杰弗瑞·C·哈得根斯;戴蒙·K·库克斯;迈克·瑞斯;杰米斯·R·丘里克 |
| 分类号 | B25J15/08 | 主分类号 | B25J15/08 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1、一种用于在加工系统中传送衬底的机械手，包括：主体；适合于保持衬底于其上的末端执行器；和将末端执行器连接到主体上的连杆，其中末端执行器和/或连杆由热传导率/热膨胀之比大于大约10W/(m×K2)的材料组成。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||